Tektronix 370Bおよび371Bプログラマブルカーブトレーサ 高分解能DCパラメトリック測定および高電圧電流ソース

• 高分解能DCパラメトリック測定 (370B) (分解能 1 pA または 2 µV まで)
• 高電圧・高電流ソース (371B) (最大 3,000 V または 400 A)
• 内蔵カーソル測定 - ドット、ウィンドウ、ファンクションライン
• ケルビンセンス測定
• スイープ測定モード
• 波形比較と平均化
• 完全プログラマブル
• 1.44 MB フロッピーディスクドライブにセットアップとカーブのビットマップを保存
• サードパーティ製プリンターで直接ハードコピー

• 半導体のパラメトリック特性評価
• 故障解析
• データシート生成
• 製造テスト
• プロセス監視と品質管理
• 受入検査
• コンポーネントマッチング

Tektronix カーブトレーサーは、半導体デバイスのDC特性をテストするためのパワーと汎用性を提供します。370B および 371B カーブトレーサーは、使いやすいフロントパネル、デジタル取得と表示、およびプログラマビリティを組み合わせて、さまざまなアプリケーションニーズに対応します。

R&Dラボでは、Tektronix カーブトレーサーは新しい設計の特性評価、SPICEパラメータの抽出、故障解析、データシート生成に使用されます。製造テストでは、Tektronix カーブトレーサーはデバイスの品質検証とプロセス監視に使用されます。また、受入検査でデバイスの性能検証、故障解析の実行、コンポーネントのマッチングにも使用されます。

370B

高分解能カーブトレーサーの世界標準である370Bは、最大20 A/2,000 Vのソース能力と、1 pAおよび50 µVの測定分解能を提供します。370Bは、集積回路、トランジスタ、サイリスタ、ダイオード、SCR、MOSFET、光電子部品、太陽電池、ソリッドステートリレー、その他の半導体デバイスのDCパラメトリック特性評価を実行します。プッシュボタン式のソースと測定設定により、テスト間の切り替えが容易です。

371B

高出力カーブトレーサーの業界リーダーである371Bは、サイリスタ、SCR、IGBT、パワーMOSFETなど、さまざまなパワー半導体のDCパラメトリック特性評価を実行します。高電圧コレクタモードにより、最大3,000ボルトまでのデバイスのオフ特性をテストできます。パルス高電流コレクタモードは、オン特性をテストするためのピーク400アンペアを超える出力電流パルスを提供し、最大3,000ワットの高出力テストを可能にします。スイープ測定モードでは、371Bは低デューティサイクルのパルスでデバイスを刺激しながら、カーブのファミリを自動的に構築します。この機能により、デバイスの過度の加熱なしにパワー曲線を表示できます。

370B および 371B のすべての測定のインタラクティブな制御は、フル機能のフロントパネルまたは GPIB 経由で行われます。すべての操作パラメータは GPIB コントローラーを使用して制御できます。370B および 371B シリーズの LabView ドライバーは、Tektronix.com のウェブサイトで入手できます。これらのドライバーには、カスタム測定ソリューションを作成するための多くのビルディングブロックが含まれています。

最大80個のデジタル化された特性曲線は、フロッピーディスクまたは内部不揮発性メモリに保存し、ボタン一つで呼び出すことができます。その後、ライブカーブを以前に保存されたカーブと比較して、温度ドリフトや動作パラメータのその他の変化を評価できます。データを識別するために、最大24文字のテキストを使用してカーブデータをラベル付けまたは注釈付けできます。

操作パラメータは、370B および 371B システムメモリ、内蔵 1.44 MB フロッピーディスクドライブを含むいくつかの保存方法を使用して調整、保存、呼び出し、または GPIB コントローラー経由で外部に送信できます。

370B および 371B は、3つのカーソル測定モードを提供します。ドットカーソルは、任意のポイントでの電圧、電流、gm、または DC ベータの直接画面読み出しを提供します。ウィンドウカーソルは、2つのカーブの間に配置して小信号ベータまたは gm を測定でき、視覚的な合否テストにも使用できます。ファンクションラインカーソルは、スロープまたはインターセプト値の画面読み出しを提供します。

スイープ測定モードでは、カーブトレーサーはカーブのファミリを自動的に構築します。371B は低デューティサイクルのパルスでこれを実現します。この機能により、デバイスの過度の加熱なしにパワー曲線を表示できます。

カーブ出力データは、370B および 371B から Citizen iDP-3240 サーマルプリンターに直接送信できます。370B および 371B が次のタスクを実行している間も印刷を続けることができます。

利用可能なピーク電力
16、80、400 V レンジ - 0.08、0.4、2、10、50、220 W。
2,000 V レンジ - 0.08、0.4、2、10、50 W。

可変コレクタ電源設定
最大ピーク電圧の % として - 0.1% の増分で 0 から 100%。

ループ補償 (代表値)
範囲 - 少なくとも 100 pF。

精度
増分 - 1.5%。
絶対 - 総出力の 1.5% 未満 + STEP AMPLITUDE 設定の 3% + 1 mV または 1 nA。

オフセット制御範囲
STEP AMPLITUDE の -10 から +10 倍まで可変。

分解能
STEP AMPLITUDE 設定 x 1%。

振幅範囲
50 nA から 200 mA まで、1-2-5 のシーケンスで 21 ステップ。

最大電流
STEP AMPLITUDE 設定の 20 倍、制御が 200 mA に設定されている場合は STEP AMPLITUDE 設定の 10 倍。

最大電圧
少なくとも 10 V。

最大逆オフセット電流
STEP AMPLITUDE の 10 倍。

最大逆電圧
15 V 未満。

リップルプラスノイズ
STEP AMPLITUDE の 0.5% + 10 nA 未満。

振幅スイッチ範囲
50 mV から 2 V まで、1-2-5 のシーケンスで 6 ステップ。

最大電圧
STEP AMPLITUDE の 20 倍。

最大電流
10 V 以下で少なくとも 500 mA、15 V で少なくとも 200 mA、40 V で少なくとも 10 mA。

短絡電流制限
500 mA、+50%、-20%。

最大逆オフセット電流
STEP AMPLITUDE の 10 倍。

最大逆電流
20 mA 未満。

リップルプラスノイズ
STEP AMPLITUDE の 0.5% + 10 mV 未満。

ステップレート
ライン周波数の 2 倍 (AC コレクタ電源モードではライン周波数の 1 倍)。ステップは 0 コレクタ電圧で発生します。

パルスステップ
幅 80 µs または 300 µs、±10%。

ステップとオフセットの極性
STEP GENERATOR POLARITY INVERT が無効な場合はコレクタ電源の極性に対応します。STEP GENERATOR POLARITY INVERT が選択されている場合、または CONFIGURATION スイッチが BASE COMMON に設定されている場合は逆になります。BASE COMMON 設定は STEP GENERATOR POLARITY INVERT を無効にします。

ステップ数
0 から 10 の範囲。

範囲
-40 V から +40 V まで、20 mV ステップ分解能。

精度 (代表値)
50 mV + 総出力の 1.5% 以内。

出力電流
±20 V で少なくとも 100 nA。
±40 V で少なくとも 10 mA。

リップルプラスノイズ
50 mVp-p 未満。

モード (両モードで正負の極性あり)
高電流: 最大ピーク 30 V の 250 µs パルス。
高電圧: 最大ピーク 3,000 V の全整流サイン波。

極性モード
NPN +。
PNP -。

可変コレクタ電源範囲
0.1% の増分で 0% から 100% まで連続可変。

ループ補償 (高電圧モード)
コレクタ端子とグラウンド間の浮遊容量は、最大 100 pF まで補償されます。

パルスコレクタ電源繰り返し周波数
3 kW: ライン周波数の 1/4 (0.25x)。
300 W: ライン周波数の 1/2 (0.5x)。

パルス幅 (半振幅)
250 µs ±10% (コレクタ電源の 30% 以上)。

回路ブレーカー
高電圧電源と高電流電源の両方に独立して動作するブレーカーがあります。高電流出力ブレーカーは、過電流状態になると自動的に開きます。両方のブレーカーは手動で操作できます。

オフセット制御範囲
STEP/OFFSET AMPLITUDE 設定の 0 から 10 倍まで可変。ただし、STEP/OFFSET AMPLITUDE が 5 V または 2 A の場合は 0 から 5 倍。

ステップ数
0 から 10。ただし、STEP/OFFSET の場合は 0 から 5。

ステップ極性
正、負。

ステップレート
パルス:
3 kW: ライン周波数の 1/4 (0.25x)、300 W: ライン周波数の 1/2 (.5X)。
ステアステップ:
300 W、3 W、300 mW、30 mW: ライン周波数の 2 倍。

振幅範囲
ノーマルステップ - 1 µA から 2 mA まで、1-2-5 のシーケンス。コレクタ電源高電圧モード (30 W/3 W および 300 mW/30 mW)。
パルスステップ - 1 mA から 2 A まで、1-2-5 のシーケンス。コレクタ電源高電流モード (3 kW/300 W)。

最大電流
ステップ振幅の 20 倍、ただし制御がステップあたり 2 A に設定されている場合は STEP/OFFSET AMPLITUDE の 10 倍。

最大電圧
12 V ±30%。
精度: 少なくとも 5 V。

リップルプラスノイズ
STEP AMPLITUDE の 1% + 10 nA 以内。

ステップ振幅範囲
200 mV から 5 V まで、1-2-5 のシーケンス。

短絡電流制限
100 mA +50%、-20%。

最大電圧
STEP AMPLITUDE の 10 倍、5 V 設定の場合。
STEP AMPLITUDE の 20 倍、5 V 設定を除く。

リップルプラスノイズ
STEP AMPLITUDE の 1% + 10 mV 以内。